1、真空泵的極限壓強
真空泵的極限壓強的單位是PA，指的是真空泵在入口處裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓強。 2、真空泵的抽氣速率
真空泵的抽氣速率單位是L/S或M3/S，是指泵裝有標準試驗罩，并按規定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱為泵的抽速。 3、真空泵的抽氣量
真空泵的抽氣量是指泵入口的氣體流量。真空泵的抽氣量單位是PAM3/S或PA L/S。 4、真空泵的起動壓強 真空泵的起動壓強是指真空泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強，單位為PA。 5、真空泵的前級壓強 PA是真空泵的前級壓強單位，它是指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。 6、真空泵的最大前級壓強 真空泵的最大前級壓強，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強。真空泵口最大前級壓強單位是PA。 7、真空泵的最大工作壓強 真空泵的最大工作壓強是指對應最大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，真空泵能連續工作而不惡化或損壞。真空泵的最大工作壓強的單位是PA， 8、壓縮比 壓縮比是指真空泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。 9、何氏系數
真空泵抽氣通道面積上的實際抽速與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。 10、抽速系數
真空泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。 11、返流率
真空泵的返流率是指泵按規定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質量流率。真空泵的返流率單位是G/CM2.S。 12、水蒸氣允許量 水蒸氣的允許量單位是KG/H，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。 13、最大允許水蒸氣入口壓強 是指在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強。 最大允許水蒸氣入口壓強單位是PA。

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